産業用オートクレーブ BCS-650/G
環境試験装置（真空～加圧・加温）

用途

■半導体産業用オートクレーブとして

1. 半導体後工程アンダーフィル・ＤＡＦの脱泡・加熱加圧処理を行うことができます。
   圧力（真空～加圧）温度をプログラム可能（16ステップ× 64パターン）
2. 半導体製造の後工程、半導体材料等の研究開発にも本装置を活用ください。

■環境試験装置として

1.  真空～加圧環境で材料・部品等の各種試験を行う、環境試験機として利用いただけます。

■加圧・加熱専用機の「TBR/ACS シリーズ」も用意しております。

特長

チャンバー内の圧力を、真空～加圧(最大1MPa）に連続的に変化させることが可能。
圧力と共に加温も可能であり、圧力・温度共にプログラム運転することができます。

チャンバーには観測窓（BCS-650G）が２カ所あり、加圧・減圧状態で内部を観察することが可能です。
※安全のためカメラでの観測となります。

当社独自のマグネットカップリング方式による撹拌ファンを装備し、安定した槽内温度分布を実現します。

試料信号端子を装備しています。

【電源用 (125V10A)：3pin 信号用(125V1A)：24pin】
圧力容器内にある試験品へ電源供給ができ、また試験品の電気信号を外部の計測器等へ接続することができます。

BCS-650/Gは従来機では実現できない真空～加圧・常温～高温の環境を実現します。

BCS-650/GはTBR・ACSシリーズの最高機種に位置付けられた機種です。
真空:100Pa(abs)から加圧:1.0MPaGの幅広い圧力制御範囲、加えてRT+25～200℃の温度制御範囲をコントロールします。
多彩な機能とオプションでお客様の試験・研究・実験をサポートします。

その他の特長

主な仕様

型式	BCS-650G	BCS-650
外形寸法	W1225mm × H1570mm × D1450mm
有効槽内寸法	φ568 × D647mm
容積	163L
圧力範囲（真空）	100Pa(abs)
圧力範囲（加圧）	0.8MPaG   1.0MPaG ※1
温度範囲	RT+25～160℃   RT+25～200℃ ※1
電源	AC200V φ3  30A
使用気体	清浄圧縮空気／Ｎ2
圧力容器規格	第二種圧力容器
カメラ撮影用観測窓※2	照明用＋観測用（２個）	－
試料信号端子	電源用(125V10A)：3pin 信号用(125V1A)：24pin

※1：オプション　※2）安全のため目視による直接観察はできません。カメラ撮影用です（カメラ設置用マウント付）

※製品の仕様は変更する場合がありますのでご了承ください。

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